臺(tái)式四探針?lè)綁K電阻自動(dòng)量測(cè)機(jī)臺(tái)MQL-443系列
配置功能
● 兼容12/8/6寸及以下尺寸各類晶圓
● 雙探頭切換，適合不同應(yīng)用場(chǎng)景
● 控溫載片臺(tái)，實(shí)現(xiàn)超小TCR系數(shù)測(cè)量（可選配置）
● 硅片厚度原位測(cè)量（可選配置）
描述
優(yōu)異性能
● 測(cè)量范圍跨越13個(gè)數(shù)量級(jí)
● 高精度定位
● 下針高度自動(dòng)控制
● 自動(dòng)清針組合
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設(shè)備 |
MQL-443系列 |
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適用領(lǐng)域 |
集成電路各類導(dǎo)電薄膜方塊電阻測(cè)量 各類硅襯底電阻率測(cè)量 |
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晶圓尺寸 |
兼容12/8/6寸及 以下尺寸各類晶圓 |
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探頭模組 |
雙探頭手動(dòng)切換 各類進(jìn)口及自研探頭 |
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TCR測(cè)量 |
有 |
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襯底厚度測(cè)量 |
有 |
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自動(dòng)清針 |
有 |
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